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FUN88体育官网入口中科慧远在中关村论坛上发布碳化硅表面缺陷检测设备半导体产业再填新动力

时间:2024-05-01 08:54:25 点击次数:

  Fun88官方FUN88体育官网入口中科慧远在中关村论坛上发布碳化硅表面缺陷检测设备半导体产业再填新动力(图1)

  4月25日,“中关村论坛年会”在京开幕,中央、国务院副总理丁薛祥出席开幕式并致辞,强调创新是引领发展的第一动力。次日,作为“中关村论坛”系列活动之一的“2024年高端仪器创新发展论坛”在中关村国际创新中心海慧厅圆满举办。会上,工业和信息化部副部长王江平与北京市政协副主席林抚生发表致辞。来自国内外知名院士专家以及有关省市工信主管部门FUN88体育官网入口、行业组织、企业、科研院所、高等院校FUN88体育官网入口、各领域仪器仪表用户等单位450余名代表参加论坛。中科慧远“晶圆检测仪-碳化硅表面缺陷检测设备”入选高端仪器十大首发产品。

  3月初,作为推动国内乃至全球高端仪器科技创新与产业发展交流合作的国家级平台,高端仪器创新发展论坛面向全球征集十大首发高端创新产品,旨在推动高端仪器的创新发展及应用。此次中科慧远首发的碳化硅表面缺陷检测设备,是针对化合物半导体产业快速发展的需求而研发的。该设备能够实现崩边、划伤、微管、包裹等近二十种半导体缺陷的检测,填补了行业空白FUN88体育官网入口。其检测效率提升了数十倍,3分钟即可完成整片检测,并自动输出检测报告。此外,该设备可搭载品质数据监控系统,对整个生产线大数据实时分析,为工艺改善提供数据支持及决策支持。





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